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喜报 | 浙江清华柔性电子技术研究院、乌镇实验室中试平台入选首批工信部重点培育中试平台

近日,工业和信息化部发布《首批工业和信息化部重点培育中试平台初步名单公示》,全国共有242家中试平台入选,其中浙江清华柔性电子技术研究院“柔性集成器件制造中试平台”、乌镇实验室“新型陶瓷材料中试平台”成功入选。

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中试平台聚焦制造业创新发展需求,汇聚各类产业资源,推动科技成果转化应用,提供技术研发转化、性能工艺改进、工艺放大熟化、产品型式试验、产品性能测试、小批量试生产、仪器设备共享、设备应用验证等专业化服务和系统化解决方案,对产业科技创新发挥战略支撑引领作用。

浙江省拥有众多从事新型陶瓷材料研发生产的企业和机构,产业基础位居全国前列,同时优异的营商环境也在不断吸引新型陶瓷相关企业落地发展,市场容量逐步提升。因此,亟需布局专业性强且社会力量相对缺位的环节建设新型陶瓷材料中试平台,推动企业与科研机构建立紧密的合作关系,完善技术创新、产品开发和产业链融合的产业体系。对此,乌镇实验室建立新型陶瓷材料中试平台,为浙江省新型陶瓷材料产业的长远发展提供强有力的全方位支持。

柔性集成器件制造中试平台

柔电院投入超亿元建立国际首条柔性集成器件制造中试平台,以及国内首个柔性电子标准化检测实验室(获得CMA认证和CNAS认可),可高质量开展柔性电子器件/系统的创新性研究、中试、性能测试及可靠性评估。柔电院探索形成“实验室创新-中试验证-产业化应用”的全链条制造路径,中试平台支撑星载芯片、重大装备监测、生理体征监测及机器人传感等在内的重要项目攻关,2023年至今累计服务企业客户订单百余项,订单金额超千万元。

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柔性集成器件制造中试平台建成面积8700㎡,净化面积5000㎡,包含超薄芯片、柔性SIP集成制造工艺、柔性CIP集成制造工艺、射频微组装、薄膜制造、陶瓷封装、塑封和注塑封装等八个模块,配备超600台套尖端设备。目前,柔电院已具备晶圆减薄背金、混合集成、柔性SIP、柔性CIP、塑封、陶封和面板级扇出FOPLP等成套工艺。

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晶圆减薄背金

典型产品:柔性芯片(厚度≤35μm);6/8/12英寸Si晶圆减薄背金(厚度≤120μm),6寸SiC晶圆研磨(厚度≤120μm);Taiko工艺功率MOSFET晶圆减薄背金(12英寸,厚度≤50μm);背金支持Ti、V、Cr、Ni、Ag、Al、Au、Cu、Sn等多种金属

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混合集成

典型结构:金属外壳+陶瓷基板+片式元件SMT+芯片DB/WB+引出端气密性焊接+气密性封帽

典型产品:TR组件等

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柔性SIP

典型结构:柔性FPC+片式元件SMT+芯片DB/WB+柔性点胶包封

典型产品:柔性微系统、柔性机载信号处理组件、柔性数采组件等

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柔性CIP

典型结构:柔性FPC+柔性芯片+再布线RDL+多层堆叠+微凸点Micro-Bump

典型产品:射频前端、微电源、耳机等

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塑封

典型结构:树脂基板/框架+芯片DB/WB+塑封料/切割;树脂基板+片式元件SMT+芯片DB/WB+FC+塑封/切割+BGA植球

典型产品:代加工产品、超声波/LDO芯片塑封等;超薄TR、微电源模块等

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陶封

典型结构:金属外壳+片式元件+芯片DB/WB+气密性封帽

典型产品:CDIP、CSOP、CSOJ、CLCC、CFP、CQFP、CQFJ、CPGA、CBGA等

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面板级扇出

FOPLP典型结构:重构晶圆或面板+再布线RDL+微凸点/BGA球

典型产品:超薄TR、射频微模组、微电源、高频高速AD/DA等

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柔性电子标准化检测实验室

实验室是经浙江省市场监督管理局批准的检验检测机构,已获批CMA及CNAS资质证书,为国内首家具备柔性电子特色检测能力的专业检测实验室。中心按照ISO-17025准则要求建有完善的质量管理体系并严格实施运行,配备专业化检测团队及行业认可的高端检测设备,坚持“公正、严谨、科学、专业”的质量方针,为广大客户提供产品性能摸底、可靠性筛选、功能验证分析、非标检测方案及相关标准研制等服务。

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主要检测项目

1.环境可靠性(高温、低温、湿热、温变、低气压、振动、冲击、霉菌、盐雾等);

2.安规试验(接地电阻测试、介质耐电压、耐潮湿、绝缘电阻测试、接触电流、输入功率和电流等);

3.机械应力(折叠、拉伸、弯曲、扭转、卷曲、卷绕、压缩等);

4.电磁兼容(静电放电、电快速瞬变脉冲群、浪涌(冲击)、工频磁场、电压骤降、短时中断、电压变化等);

5.其他(气体透过性、透光率、雾度、结构检查、压力传感器性能、电池充放电性能等)。

新型陶瓷材料中试平台

目前,乌镇实验室已初步建成“1+X”布局的综合性新型陶瓷材料中试平台,以“通用平台+专业平台”组建模式,建成1个综合性的新材料检测服务平台和6条专业化中试产线,总实验与中试场地面积超过72000平方米。其中,新材料检测服务平台拥有各类科研设备300余台,基本建成材料显微结构与成分表征、材料性能测试、光谱/色谱测试、材料加工制备五大通用检测子平台,已具备CMA检测资质。

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新型陶瓷材料中试平台目前已累计孵化公司10余家,其中桐乡华创三同科技有限公司开发的固体氧化物燃料电池中温区质子陶瓷电解质材料,获2022年度的日内瓦金奖完成融资1000多万元,估值已超亿元;清融新材料科技(嘉兴)有限公司开发出第一代高温电容器原型器件,相关技术与产品属国际首创,于2023年获得纽伦堡国际发明展金奖,目前已完成天使轮融资;嘉兴湃卓科技有限公司开发的发声/触觉反馈用无铅多层压电陶瓷模组获日内瓦国际发明展金奖,目前正在筹备天使轮融资;嘉兴齐方新材料有限公司自主研发的超细纤维纺丝产业化制备技术已为新能源汽车、航天航空、能源等领域提供多项领先的隔热安全方案。